金刚石线锯切割设备现状分析

周世威^1,2,3，郑超^1,2,3，刘莹⁴，王进保^1,2,3，苏钰^1,2,3，程煜^1,2,3

1. 中国有色桂林矿产地质研究院有限公司2. 国家特种矿物材料工程技术研究中心3. 广西超硬材料重点实验室4. 桂林理工大学材料科学与工程学院

摘 要：随着光伏、半导体等高精端产业的发展,硬脆性材料,如晶体硅、蓝宝石、特种陶瓷等材料的切割加工显得尤为重要。近年来,世界各国大力投入研究开发,新工艺,新设备不断涌现。金刚石线锯切割成为研究和发展的主流趋势,文章介绍国外切割设备研究的最新进展以及国内发展状况,分析其性能优势,展望金刚石线切割设备应用前景。

关键词：线切割设备;金刚石线锯;综述;多线切割;金刚石环线切割机;