溅射沉积法制备金薄膜的结构特性
来源期刊：功能材料2004年增刊第1期
论文作者：许小亮 关博 江勇
关键词：表面形貌; 正常晶粒生长; 反常晶粒生长; LSW理论模型;
摘 要：在不同的生长阶段Au膜具有不同的表面微结构.随着厚度的增加,薄膜晶粒要经历成核、正常晶粒生长和反常晶粒生长过程,在不同的过程中Au膜呈现出不同的表面形貌.在正常晶粒生长阶段,薄膜晶粒呈柱状生长;随后的反常晶粒生长过程中会出现晶粒吸收现象,使具有较优取向的晶粒越长越大.X射线衍射图(XRD)显示Au膜具有(111)面取向优势.利用LSW理论模型计算并解释了晶粒反常生长过程.
许小亮1，关博3，江勇1
(1.中国科技大学,物理系,安徽,合肥,230026;
2.中科院结构分析重点实验室,安徽,合肥,230026;
3.中国科技大学,少年班,安徽,合肥,230026)
摘要:在不同的生长阶段Au膜具有不同的表面微结构.随着厚度的增加,薄膜晶粒要经历成核、正常晶粒生长和反常晶粒生长过程,在不同的过程中Au膜呈现出不同的表面形貌.在正常晶粒生长阶段,薄膜晶粒呈柱状生长;随后的反常晶粒生长过程中会出现晶粒吸收现象,使具有较优取向的晶粒越长越大.X射线衍射图(XRD)显示Au膜具有(111)面取向优势.利用LSW理论模型计算并解释了晶粒反常生长过程.
关键词:表面形貌; 正常晶粒生长; 反常晶粒生长; LSW理论模型;
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