硫酸盐镀铜的研究进展
来源期刊：材料保护2006年第1期
论文作者：辜敏 杨明莉 付遍红
关键词：电沉积; 铜; 硫酸盐体系;
摘 要：铜的性质决定了铜在工业应用中的重要性,特别是目前在微电子工业中的决定性作用,使铜的电沉积过程成为研究热点.结合铜在微电子工业中的应用,综述了硫酸盐镀铜中铜的电沉积机理、铜镀层微结构、添加剂对铜电沉积过程的影响以及铜电沉积初期行为方面的研究进展.指出了铜电沉积未来的研究方向.
辜敏1，杨明莉1，付遍红2
(1.重庆大学西南资源与环境灾害控制工程教育部重点实验室,重庆 400044;
2.重庆大学资源及环境科学学院,重庆 400044)
摘要:铜的性质决定了铜在工业应用中的重要性,特别是目前在微电子工业中的决定性作用,使铜的电沉积过程成为研究热点.结合铜在微电子工业中的应用,综述了硫酸盐镀铜中铜的电沉积机理、铜镀层微结构、添加剂对铜电沉积过程的影响以及铜电沉积初期行为方面的研究进展.指出了铜电沉积未来的研究方向.
关键词:电沉积; 铜; 硫酸盐体系;
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