纳米压入法微机械材料力学性能测量不确定度的影响因素分类及评价
来源期刊：稀有金属材料与工程2002年第5期
论文作者：蒋庄德 王海容 赵则祥
关键词：纳米压入; MEMS; 力学性能; 不确定度;
摘 要：在介绍纳米压入法微机械力学性能测量原理的基础上,提出了纳米压入法微机械材料力学性能测量不确定度的I,II类影响因素的观点,并将I类影响因素分为直接和间接影响因素,将II类影响因素分为主要影响因素和次要影响因素.在阐述由这些因素产生的测量不确定度的评价方法基础上,对单晶硅(111)体材的硬度和弹性模量进行了测量与评定,其硬度和弹性模量的评定结果分别为13.57GPa±0.85GPa和156.33GPa±7.85GPa.
蒋庄德1，王海容1，赵则祥1
(1.西安交通大学,陕西西安,710049;
2.中原工学院,河南郑州,450007)
摘要:在介绍纳米压入法微机械力学性能测量原理的基础上,提出了纳米压入法微机械材料力学性能测量不确定度的I,II类影响因素的观点,并将I类影响因素分为直接和间接影响因素,将II类影响因素分为主要影响因素和次要影响因素.在阐述由这些因素产生的测量不确定度的评价方法基础上,对单晶硅(111)体材的硬度和弹性模量进行了测量与评定,其硬度和弹性模量的评定结果分别为13.57GPa±0.85GPa和156.33GPa±7.85GPa.
关键词:纳米压入; MEMS; 力学性能; 不确定度;
【全文内容正在添加中】
