感应等离子制备纳米硅粉的工艺及性能研究

张思源^1,2，张鑫^1,2,3,4，王彦军^1,2,3，贾坤乐^1,2

1. 北京矿冶科技集团有限公司2. 北矿新材科技有限公司3. 特种涂层材料与技术北京市重点实验室4. 北京市工业部件表面强化与修复工程技术研究中心

摘 要：采用感应等离子制备技术制备了纳米硅粉,对不同原料粒度及工艺参数对纳米硅粉粒度的影响进行了探究。结果表明,在其他工艺参数不变的前提下,纳米硅粉的粒度随原料粒度降低呈先降低后不变的趋势,随冷却气流增大而降低,随送粉速率增大呈先增大后不变趋势,随等离子功率增大而降低。根据影响规律,选定最优工艺参数,对制备的纳米硅粉进行性能表征,其中粉体形貌呈表面光滑的球形或类球形颗粒,颗粒尺寸基本处于50～100nm之间;对粉体的杂质含量进行测定,主要杂质含量为0.064%,与原料硅粉相比,降幅达34.7%。

关键词：感应等离子;纳米硅粉;粒度;性能表征;