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磁致伸缩微位移工作台的新型定位方法

来源期刊：磁性材料及器件2005年第1期

论文作者：李恒菊李银祥邓志刚姚向东张立军

关键词：磁致伸缩; 微位移; 定位; 控制系统;

摘要：稀土超磁致伸缩材料广泛应用于传感器、执行器.本文介绍了我们研制的一种磁致伸缩微位移工作台的结构、运动原理以及新型精密定位控制方法,即电磁式吸紧定位.实验测量微位移最小分辨率达2nm.整个微位移工作台结构简单,位移分辨率高,且能够实现双向可控运动.

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李恒菊¹，李银祥¹，邓志刚¹，姚向东¹，张立军¹

(1.武汉理工大学,材料学院,湖北武汉,430070)

摘要:稀土超磁致伸缩材料广泛应用于传感器、执行器.本文介绍了我们研制的一种磁致伸缩微位移工作台的结构、运动原理以及新型精密定位控制方法,即电磁式吸紧定位.实验测量微位移最小分辨率达2nm.整个微位移工作台结构简单,位移分辨率高,且能够实现双向可控运动.

关键词:磁致伸缩; 微位移; 定位; 控制系统;

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