PZT基体沉积条形分布NiTiSMA薄膜复合材料的介电性能
来源期刊：材料导报2011年第10期
论文作者：张玉姣 刘庆锁 卢明超
文章页码：48 - 51
关键词：NiTi;SMA薄膜;沉积方式;等轴晶;介电性能;
摘 要：使用模具并采用磁控溅射法在铁电陶瓷PZT基体上沉积具有条形分布结构的Ni Ti SMA薄膜。显微组织结构观察发现,以条形分布结构方式沉积的Ni Ti SMA薄膜晶化处理后具有等轴晶结构。比较所制备PZT/Ni-Ti SMA薄膜复合材料与纯PZT的介电常数及介电损耗发现,两者的介电损耗水平接近;复合材料的介电常数比纯PZT的提高约18%。Ni Ti SMA的沉积使基体中靠近薄膜区域的Zr/Ti物质的量比恰好落在准同型相界区内,致使所制备复合材料的介电性能优于纯PZT。
张玉姣1，刘庆锁1，卢明超2,3
1. 天津理工大学材料科学与工程学院2. 公安部天津消防研究所3. 国家固定灭火系统和耐火构件质量监督检验中心
摘 要：使用模具并采用磁控溅射法在铁电陶瓷PZT基体上沉积具有条形分布结构的Ni Ti SMA薄膜。显微组织结构观察发现,以条形分布结构方式沉积的Ni Ti SMA薄膜晶化处理后具有等轴晶结构。比较所制备PZT/Ni-Ti SMA薄膜复合材料与纯PZT的介电常数及介电损耗发现,两者的介电损耗水平接近;复合材料的介电常数比纯PZT的提高约18%。Ni Ti SMA的沉积使基体中靠近薄膜区域的Zr/Ti物质的量比恰好落在准同型相界区内,致使所制备复合材料的介电性能优于纯PZT。
关键词：NiTi;SMA薄膜;沉积方式;等轴晶;介电性能;
