Ba0.5Sr0.5TiO3铁电薄膜的微弧氧化制备工艺
来源期刊：材料热处理学报2013年第7期
论文作者：王敏 郭会勇 李文芳 张果戈
文章页码：154 - 158
关键词：铁电薄膜;Ba0.5Sr0.5TiO3;微弧氧化;表面形貌;
摘 要：用分析纯Ba（OH）2.8H2O和Sr（OH）2.8H2O配制电解液（浓度各为0.2 mol/L）,采用微弧氧化技术在工业纯钛板（99.5%）表面原位生成BaxSr（1-x）TiO3铁电薄膜。对不同电流密度、电流频率和反应时间条件下获得的薄膜进行表征,研究了各因素对薄膜物相构成、表面形貌和表面粗糙度的影响。结果表明:所得薄膜均主要由四方相Ba0.5Sr0.5TiO3构成;电流密度为20 A/dm2、电流频率为100 Hz、反应时间为10 min时,所得薄膜最平整、致密、表面粗糙度值最小,且微弧氧化孔洞分布最均匀,测得该薄膜在1 kHz条件下的介电常数为411.3。
王敏1，郭会勇2，李文芳3，张果戈3
1. 广东技术师范学院机电学院2. 平高集团有限公司3. 华南理工大学材料科学与工程学院
摘 要：用分析纯Ba（OH）2.8H2O和Sr（OH）2.8H2O配制电解液（浓度各为0.2 mol/L）,采用微弧氧化技术在工业纯钛板（99.5%）表面原位生成BaxSr（1-x）TiO3铁电薄膜。对不同电流密度、电流频率和反应时间条件下获得的薄膜进行表征,研究了各因素对薄膜物相构成、表面形貌和表面粗糙度的影响。结果表明:所得薄膜均主要由四方相Ba0.5Sr0.5TiO3构成;电流密度为20 A/dm2、电流频率为100 Hz、反应时间为10 min时,所得薄膜最平整、致密、表面粗糙度值最小,且微弧氧化孔洞分布最均匀,测得该薄膜在1 kHz条件下的介电常数为411.3。
关键词：铁电薄膜;Ba0.5Sr0.5TiO3;微弧氧化;表面形貌;
