化学气相沉积ZrO₂涂层的表面微观形貌演变

来源期刊：粉末冶金材料科学与工程2015年第2期

论文作者：郝振华 郝安林 熊翔

文章页码：237 - 243

关键词：化学气相沉积;氧化锆涂层;微观形貌;

摘    要：采用ZrCl4-CO2-H2-Ar体系,在不同温度或氢气流量条件下采用常压化学气相沉积法（APCVD）通过不同沉积流程在C/C样品表面制备ZrO2涂层。用X射线衍射分析仪（XRD）和扫描电镜（SEM）分析涂层的物相组成和形貌特征。结果表明:随沉积温度升高,ZrO2涂层表面形貌由小颗粒堆积态向大尺寸多晶转变;氢气流量为0时,只在局部区域出现了少量ZrO2,当氢气流量为400mL/min时,ZrO2涂层晶粒尺寸较大且晶体学平面特征最明显;在氢气流量为800mL/min时沉积出现了副产物ZrC与C;在氢气流量为1600mL/min时,出现沉积副产物ZrC;连续沉积时,得到的ZrO2涂层为山峰状形貌。