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低辐射薄膜TiO2-Ag-TiO2-siO的纳米尺度显微结构

来源期刊：金属学报2001年第4期

论文作者：郭晓楠李斗星贺连龙于荣詹倩

关键词：低辐射薄膜; 微观结构; HREM; 纳米束分析;

摘要：成功地制备了TiO2-Ag-TiO2-SiO超薄多层膜的截面样品,并对其微观结构进行TEM,HREM及纳米束EDS分析.结果表明,薄膜各层厚度均匀,界面明锐、光滑.Ag层由纳米晶组成,而TiO2和SiO层为非晶.Ag在膜层中没有扩散或聚团,这也正是保证整个薄膜性能指标的一个重要因素.

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郭晓楠¹，李斗星²，贺连龙²，于荣²，詹倩²

(1.上海交通大学材料学院,上海,200030;
2.中国科学院金属研究所固体原子像开放研究实验室,沈阳,110016)

摘要:成功地制备了TiO2-Ag-TiO2-SiO超薄多层膜的截面样品,并对其微观结构进行TEM,HREM及纳米束EDS分析.结果表明,薄膜各层厚度均匀,界面明锐、光滑.Ag层由纳米晶组成,而TiO2和SiO层为非晶.Ag在膜层中没有扩散或聚团,这也正是保证整个薄膜性能指标的一个重要因素.

关键词:低辐射薄膜; 微观结构; HREM; 纳米束分析;

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