LNO薄膜电极的制备及其特性研究
来源期刊：功能材料2003年第3期
论文作者：汤庭鳌 钟宇 康晓旭 姜国宝 林殷茵 黄维宁 王晓光
关键词：LNO; 氧化物电极; 铁电体;
摘 要：采用水基化学溶液涂布(water-based coating)的方法,在SiO2/Si上制备出了LaNiO3(LNO)导电金属氧化物薄膜.系统研究了退火温度、退火时间、厚度等工艺条件对LNO薄膜电学特性和结构的影响,并进一步分析了产生这些现象的原因.制备的LNO薄膜电阻率为1.77×10-3Ω@cm,且具有良好的形貌.以LNO为独立下电极,制备出了Au(Cr)/PZT/LNO/SiO2结构的铁电电容,通过其电滞回线和漏电特性的测试,可见制备的LNO薄膜可以很好地满足作为铁电电容电极的需要.
汤庭鳌1，钟宇1，康晓旭1，姜国宝1，林殷茵1，黄维宁1，王晓光1
(1.复旦大学微电子学系,Asic和系统国家重点实验室,上海,200433)
摘要:采用水基化学溶液涂布(water-based coating)的方法,在SiO2/Si上制备出了LaNiO3(LNO)导电金属氧化物薄膜.系统研究了退火温度、退火时间、厚度等工艺条件对LNO薄膜电学特性和结构的影响,并进一步分析了产生这些现象的原因.制备的LNO薄膜电阻率为1.77×10-3Ω@cm,且具有良好的形貌.以LNO为独立下电极,制备出了Au(Cr)/PZT/LNO/SiO2结构的铁电电容,通过其电滞回线和漏电特性的测试,可见制备的LNO薄膜可以很好地满足作为铁电电容电极的需要.
关键词:LNO; 氧化物电极; 铁电体;
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