LaNiO3凝胶薄膜微细图形的制备
来源期刊：材料导报2016年第S2期
论文作者：李大玉 高瑞芳
文章页码：259 - 261
关键词：镍酸镧薄膜;微细加工;溶胶-凝胶直接感光法;微细图形;
摘 要：采用溶胶-凝胶工艺,以Ni（Ac）2、La（NO3）3为前驱原料,以乙醇和乙二醇甲醚为溶剂,以丙烯酸为稳定剂,乙酰丙酮（AcAc）为化学修饰剂制备了感光性LNO溶胶。通过其溶胶的紫外和红外吸收光谱研究了感光性LNO溶胶的紫外感光机理,并运用溶胶-凝胶直接感光法制备出LNO薄膜的微细图形。
李大玉，高瑞芳
扬州大学机械工程学院
摘 要：采用溶胶-凝胶工艺,以Ni（Ac）2、La（NO3）3为前驱原料,以乙醇和乙二醇甲醚为溶剂,以丙烯酸为稳定剂,乙酰丙酮（AcAc）为化学修饰剂制备了感光性LNO溶胶。通过其溶胶的紫外和红外吸收光谱研究了感光性LNO溶胶的紫外感光机理,并运用溶胶-凝胶直接感光法制备出LNO薄膜的微细图形。
关键词：镍酸镧薄膜;微细加工;溶胶-凝胶直接感光法;微细图形;
