日本的高纯度铝工业
来源期刊:轻金属1995年第5期
论文作者:王祝堂
摘 要:日本的高纯度铝工业当前,工业上生产的铝的纯度为99.5%~99.9%,纯度更高的铝是用三层法与偏析法精制的。半导体工业与超导体稳定化要求铝的纯度达到99.999%,而大规模集成电路配线需用纯度为99.9999%以上的铝,而其中的U与Th应<1ppb。...
王祝堂
摘 要:日本的高纯度铝工业当前,工业上生产的铝的纯度为99.5%~99.9%,纯度更高的铝是用三层法与偏析法精制的。半导体工业与超导体稳定化要求铝的纯度达到99.999%,而大规模集成电路配线需用纯度为99.9999%以上的铝,而其中的U与Th应<1ppb。...
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