Pb1- xLaxTiO3薄膜的制备及介电性质的研究
来源期刊：功能材料与器件学报2001年第4期
论文作者：沈明荣 宁兆元 葛水兵 朱卫东
关键词：溶胶-凝胶; PLT薄膜;
摘 要：在 Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上用溶胶 -凝胶法制备了 Pb1-xLaxTiO3薄膜 ,对膜进行 XRD、 SEM、介电、铁电性能测试 , 研究了退火温度、掺 La量对薄膜性能的影响 , 结果发现在 600℃下退火 1h的 PLT薄膜呈现钙钛矿结构 , 具有 (100)面择优取向 . 在摩尔比 x≤ 0.2的范围内 , 薄膜的矫顽场、剩余极化强度都随着掺 La量的增加而降低 , 而其相对介电常数和介质损耗却随着掺 La量的增加而增加 .
沈明荣1，宁兆元1，葛水兵1，朱卫东1
(1.苏州大学薄膜材料实验室,)
摘要:在 Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上用溶胶 -凝胶法制备了 Pb1-xLaxTiO3薄膜 ,对膜进行 XRD、 SEM、介电、铁电性能测试 , 研究了退火温度、掺 La量对薄膜性能的影响 , 结果发现在 600℃下退火 1h的 PLT薄膜呈现钙钛矿结构 , 具有 (100)面择优取向 . 在摩尔比 x≤ 0.2的范围内 , 薄膜的矫顽场、剩余极化强度都随着掺 La量的增加而降低 , 而其相对介电常数和介质损耗却随着掺 La量的增加而增加 .
关键词:溶胶-凝胶; PLT薄膜;
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