NbN/TaN纳米多层膜的微结构及超高硬度效应
来源期刊:无机材料学报2000年第3期
论文作者:顾明元 许俊华 李戈扬
关键词:NbN/TaN纳米多层膜; 微结构; 超硬效应;
摘 要:用磁控反应溅射的方法在不锈钢基片上制备了NbN/TaN纳米多层薄膜,试验采用X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)及显微硬度仪对薄膜的微结构和硬度进行分析,结果表明:在NbN/TaN多层膜中,NbN层为面心晶体结构,TaN层为六方晶体结构;NbN/TaN纳米多层膜存在超硬效应,在调制周期2.317.0nm这一较宽的范围内保持超高硬度,硬度最大值HK达51.0GPa.
顾明元1,许俊华1,李戈扬1
(1.上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030)
摘要:用磁控反应溅射的方法在不锈钢基片上制备了NbN/TaN纳米多层薄膜,试验采用X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)及显微硬度仪对薄膜的微结构和硬度进行分析,结果表明:在NbN/TaN多层膜中,NbN层为面心晶体结构,TaN层为六方晶体结构;NbN/TaN纳米多层膜存在超硬效应,在调制周期2.317.0nm这一较宽的范围内保持超高硬度,硬度最大值HK达51.0GPa.
关键词:NbN/TaN纳米多层膜; 微结构; 超硬效应;
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