强电离放电研究

来源期刊：东北大学学报(自然科学版)2002年第5期

论文作者：张芝涛 鲜于泽 白敏冬 许波

文章页码：507 - 510

关键词：介质阻挡放电;强电离;非平衡等离子体;高能电子;等离子体化学;电介质材料;

摘    要：采用特种工艺 ,将高绝缘强度、高介电常数的Al2 O3 制成的电介质薄层覆盖在电极表面 ,应用窄间隙结构组成介质阻挡放电装置 ,能够在大气压或高于大气压条件下实现强电离放电 ,获得的折合电场强度大于 4 0 0Td ,电子平均能量大于 10eV ,电子密度高于 10 15/cm3 ·这足以使等离子体化学反应腔体里大部分的气体分子离解、电离成电子、离子、自由基、激发态原子等活性粒子 ,实现在原子或原子团簇尺度上重新组合成新物质