退火温度对多孔阳极氧化铝膜形貌的影响

来源期刊：材料导报2011年第20期

论文作者：赵世华 贾廷见 崔玉亭 朱治广 赵青 王文凯 王连伟 蔡娜

文章页码：102 - 212

关键词：无机非金属材料;多孔氧化铝膜;阳极氧化;退火温度;相变;

摘    要：采用二次阳极氧化法制备了有序的氧化铝膜,于800℃、900℃和1000℃对氧化铝膜进行退火处理,经X射线衍射检测发现,其晶相结构由γ-Al2O3向θ-Al2O3结构转变,而且由于相变不彻底导致多晶相结构并存。比较了3种不同的退火温度对氧化铝膜表面有序孔的影响,提出了对于内嵌入氧化铝膜的前驱体材料的退火条件,即退火温度不宜太高,退火时间不宜太长。