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p型Na掺杂ZnMgO薄膜的光电导性能

来源期刊:材料科学与工程学报2013年第5期

论文作者:薛雅 叶志镇 陈凌翔 叶春丽

文章页码:632 - 634

关键词:Na掺杂;p型ZnMgO;光电导;

摘    要:采用脉冲激光沉积(PLD)方法在石英衬底上制备p型Na掺杂ZnMgO薄膜,薄膜在氮气气氛中600℃退火60s,具有较好的光电性能。在室温下分别用波长254nm的紫外光和波长630nm的红色激光对样品进行了光电导性能测试。两种光照下,光电流均瞬间上升,且光响应度与外加偏压具有线性相关性。紫外光照下p型Na掺杂ZnMgO薄膜的光电流变化比红色激光照射下要显著。

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p型Na掺杂ZnMgO薄膜的光电导性能

薛雅,叶志镇,陈凌翔,叶春丽

浙江大学硅材料国家重点实验室

摘 要:采用脉冲激光沉积(PLD)方法在石英衬底上制备p型Na掺杂ZnMgO薄膜,薄膜在氮气气氛中600℃退火60s,具有较好的光电性能。在室温下分别用波长254nm的紫外光和波长630nm的红色激光对样品进行了光电导性能测试。两种光照下,光电流均瞬间上升,且光响应度与外加偏压具有线性相关性。紫外光照下p型Na掺杂ZnMgO薄膜的光电流变化比红色激光照射下要显著。

关键词:Na掺杂;p型ZnMgO;光电导;

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