外延薄膜X射线表征方法的新进展
来源期刊：功能材料2005年第1期
论文作者：杜晓松 杨邦朝
关键词：倒易空间图; X射线反射谱; 外延薄膜;
摘 要：对X射线倒易空间图技术(RSM)及X射线反射技术(XRR)的原理及其在外延薄膜表征方面的应用进行了介绍.RSM主要用于表征外延薄膜的应变、弛豫、马赛克缺陷、倾斜等微观缺陷,因为这些缺陷在倒空间中按不同的方向展宽.而XRR主要用于模拟薄膜的厚度、粗糙度、密度及深度分布.
杜晓松1，杨邦朝1
(1.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054)
摘要:对X射线倒易空间图技术(RSM)及X射线反射技术(XRR)的原理及其在外延薄膜表征方面的应用进行了介绍.RSM主要用于表征外延薄膜的应变、弛豫、马赛克缺陷、倾斜等微观缺陷,因为这些缺陷在倒空间中按不同的方向展宽.而XRR主要用于模拟薄膜的厚度、粗糙度、密度及深度分布.
关键词:倒易空间图; X射线反射谱; 外延薄膜;
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