Cz法晶体生长中的流动与传热
来源期刊：工程科学学报1993年第4期
论文作者：何评 俞昌铭
文章页码：358 - 363
关键词：晶体生长;数值模拟;传热;Cz法;
摘 要：本文针对Cz法晶体生长特点,通过数值模拟的方法,对Cz法生长砷化镓单晶时从引晶、放肩、等径至收尾这一完整工艺过程中晶体的温度场、熔体的温度场和速度场进行了计算,从中分析籽晶和坩埚的转向、转速等因素对流动和传热的影响,并与实际的砷化镓单晶生长过程进行比较,从比较结果看,二者基本吻合。
何评，俞昌铭
北京科技大学热能系
摘 要：本文针对Cz法晶体生长特点,通过数值模拟的方法,对Cz法生长砷化镓单晶时从引晶、放肩、等径至收尾这一完整工艺过程中晶体的温度场、熔体的温度场和速度场进行了计算,从中分析籽晶和坩埚的转向、转速等因素对流动和传热的影响,并与实际的砷化镓单晶生长过程进行比较,从比较结果看,二者基本吻合。
关键词：晶体生长;数值模拟;传热;Cz法;
