多晶硅太阳电池用SiN薄膜的研究进展
来源期刊：材料导报2002年第3期
论文作者：杨德仁 席珍强 王晓泉
关键词：SiN; 多晶硅; PECVD; 太阳电池;
摘 要：SiN薄膜因为具有良好的减反射性质和钝化作用,已经越来越广泛地应用于多晶硅太阳电池的制造工艺中.介绍了SiN薄膜在硅太阳电池中的性质,制备方法等研究现状,同时提出了存在的问题并展望了今后的发展趋势.
杨德仁1，席珍强1，王晓泉1
(1.浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027)
摘要:SiN薄膜因为具有良好的减反射性质和钝化作用,已经越来越广泛地应用于多晶硅太阳电池的制造工艺中.介绍了SiN薄膜在硅太阳电池中的性质,制备方法等研究现状,同时提出了存在的问题并展望了今后的发展趋势.
关键词:SiN; 多晶硅; PECVD; 太阳电池;
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