脉冲钨离子注入导致的空洞效应
来源期刊：功能材料2003年第4期
论文作者：张通和 杨建华
关键词：离子注入; 空洞; 耐磨性;
摘 要：采用由金属蒸汽真空弧(metal vapor vacuum arc,简称 MEVVA)离子源引出的强束流脉冲钨离子对H13钢进行了离子注入表面改性研究.在注入剂量为1×1017cm-2,温度为200℃以下,观察到强束流脉冲钨离子注入导致的空洞和空洞的硬化及脆化效应,分析了空洞对注入钨元素浓度深度分布的影响,基于热峰效应(spike),讨论了空洞的形成原因及其与材料耐磨性的关系.
张通和1，杨建华2
(1.北京师范大学,物理系,北京,100875;
2.南通工学院,物理部,江苏,南通,226007)
摘要:采用由金属蒸汽真空弧(metal vapor vacuum arc,简称 MEVVA)离子源引出的强束流脉冲钨离子对H13钢进行了离子注入表面改性研究.在注入剂量为1×1017cm-2,温度为200℃以下,观察到强束流脉冲钨离子注入导致的空洞和空洞的硬化及脆化效应,分析了空洞对注入钨元素浓度深度分布的影响,基于热峰效应(spike),讨论了空洞的形成原因及其与材料耐磨性的关系.
关键词:离子注入; 空洞; 耐磨性;
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