离子束沉积Al2O3纳米薄膜微观结构及形貌研究
来源期刊：材料热处理学报2009年第1期
论文作者：林晓娉 张建军 何丽静 王铁宝 王晓东
关键词：纳米薄膜; 离子束沉积; 掠入射衍射; 退火;
摘 要：采用离子束溅射方法在单晶Si(100)基片上沉积厚度为100nm的Al2O3薄膜,利用原子力显微镜、X射线光电子能谱、掠入射衍射等微观分析手段,研究了薄膜的表面形貌、粗糙度、成分,及退火后微观结构的变化.研究表明:室温沉积在基片上的纳米薄膜为非晶态,纳米颗粒为无方向性沉积,颗粒呈团球状,其成分基本满足Al2O3的标准成分配比.850℃×6h退火处理后,生成晶态的γ-Al2O3薄膜表面结晶完整,颗粒清晰可见.
林晓娉1，张建军1，何丽静1，王铁宝1，王晓东1
(1.河北工业大学材料科学与工程学院,天津,300130)
摘要:采用离子束溅射方法在单晶Si(100)基片上沉积厚度为100nm的Al2O3薄膜,利用原子力显微镜、X射线光电子能谱、掠入射衍射等微观分析手段,研究了薄膜的表面形貌、粗糙度、成分,及退火后微观结构的变化.研究表明:室温沉积在基片上的纳米薄膜为非晶态,纳米颗粒为无方向性沉积,颗粒呈团球状,其成分基本满足Al2O3的标准成分配比.850℃×6h退火处理后,生成晶态的γ-Al2O3薄膜表面结晶完整,颗粒清晰可见.
关键词:纳米薄膜; 离子束沉积; 掠入射衍射; 退火;
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