超薄铜箔的制备工艺研究
来源期刊：有色金属(冶炼部分)2014年第2期
论文作者：邓庚凤 何桂荣 黄崛起 徐鹏
文章页码：50 - 113
关键词：载体;可剥离箔;超薄铜箔;
摘 要：以载体支撑可剥离超薄铜箔的制备工艺为研究对象,用SEM考察电沉积时间、搅拌方式、电流密度及溶液温度等对铜箔表面形态的影响。结果表明,采用超声波搅拌,溶液温度45~50℃,电流密度15A/dm2,在载体亮面电沉积6s的最佳工艺条件下,可以得到厚度小于5μm超薄铜箔层。
邓庚凤，何桂荣，黄崛起，徐鹏
江西理工大学冶金与化学工程学院
摘 要：以载体支撑可剥离超薄铜箔的制备工艺为研究对象,用SEM考察电沉积时间、搅拌方式、电流密度及溶液温度等对铜箔表面形态的影响。结果表明,采用超声波搅拌,溶液温度45~50℃,电流密度15A/dm2,在载体亮面电沉积6s的最佳工艺条件下,可以得到厚度小于5μm超薄铜箔层。
关键词：载体;可剥离箔;超薄铜箔;
