等离子热丝化学气相沉积金刚石膜工艺参数研究
来源期刊：功能材料2005年第7期
论文作者：石玉龙 付强 毕京锋
关键词：等离子; 热丝化学气相沉积; 金刚石薄膜;
摘 要：采用等离子热丝化学气相沉积(PHFCVD)装置进行了金刚石薄膜的制备实验.实验条件为:氢气流量为200sccm,甲烷流量为2～12sccm,基体温度为700～900℃,偏压为0～400V,真空室压力为4kPa.通过实验得出了甲烷含量、基体温度和偏压对沉积金刚石膜的影响,并运用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)等测试方法对金刚石薄膜进行了观察分析.
石玉龙1，付强1，毕京锋1
(1.青岛科技大学,材料与环境科学学院,山东,青岛,266042)
摘要:采用等离子热丝化学气相沉积(PHFCVD)装置进行了金刚石薄膜的制备实验.实验条件为:氢气流量为200sccm,甲烷流量为2～12sccm,基体温度为700～900℃,偏压为0～400V,真空室压力为4kPa.通过实验得出了甲烷含量、基体温度和偏压对沉积金刚石膜的影响,并运用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)等测试方法对金刚石薄膜进行了观察分析.
关键词:等离子; 热丝化学气相沉积; 金刚石薄膜;
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