三氯氢硅合成尾气的综合回收
来源期刊：世界有色金属1995年第6期
论文作者：朱骏业
摘 要：三氯氢硅合成尾气的综合回收朱骏业（北京有色冶金设计研究总院）１前言多晶硅生产技术不断发展，各生产厂家围绕提高产品质量，降低产品成本，正在展开激烈紧张的竞争。原辅材料和动力能源的消耗，是影响多晶硅成本的主要因素，原辅材料和还原直接电耗在多晶硅生产成本中...
朱骏业
北京有色冶金设计研究总院
摘 要：三氯氢硅合成尾气的综合回收朱骏业（北京有色冶金设计研究总院）１前言多晶硅生产技术不断发展，各生产厂家围绕提高产品质量，降低产品成本，正在展开激烈紧张的竞争。原辅材料和动力能源的消耗，是影响多晶硅成本的主要因素，原辅材料和还原直接电耗在多晶硅生产成本中...
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