ITO废靶回收金属铟
来源期刊：稀有金属2003年第1期
论文作者：黄军武 陈志飞 周友元 王玺 姚吉升 陈坚
关键词：铟; 回收; ITO废靶;
摘 要：磁控溅射镀膜后的ITO废靶, 以及ITO靶材生产中产生的边角料、切屑、废品等是再生铟的主要原料. 对废靶的还原-二次电解工艺进行了研究, 并获得了工艺参数良好、回收率高、纯度为99.993%的金属铟产品.
摘要：磁控溅射镀膜后的ITO废靶, 以及ITO靶材生产中产生的边角料、切屑、废品等是再生铟的主要原料. 对废靶的还原-二次电解工艺进行了研究, 并获得了工艺参数良好、回收率高、纯度为99.993%的金属铟产品.
关键词：铟; 回收; ITO废靶;
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