单晶硅非球面超精密磨削砂轮的性能参数优选

陈冰¹，李时春¹，邓朝晖¹，赵清亮²

1. 湖南科技大学智能制造研究院难加工材料高效精密加工湖南省重点实验室2. 哈尔滨工业大学机电工程学院

摘 要：针对轴对称单晶硅非球面超精密磨削中砂轮选择的问题,依据单晶硅红外非球面透镜的结构特性,对几种典型碟片砂轮的结构特性和磨损特性进行分析,优选圆弧形金刚石砂轮作为垂直磨削法磨削单晶硅非球面透镜用砂轮。通过磨削加工实验,研究砂轮各性能参数对非球面磨削加工质量(表面粗糙度、表面形貌、亚表层损伤厚度、面形精度)的影响,优选出D64粒度金刚石砂轮为单晶硅非球面粗磨用砂轮,浓度号为C100、截面圆弧半径为6 mm、粒度为D3的金刚石砂轮作为单晶硅非球面精磨用砂轮。

关键词：砂轮型式;砂轮性能参数;超精密磨削;优选;