上冶半导体材料硅的生产和发展
来源期刊：中国有色冶金1983年第1期
论文作者：李作恩
文章页码：18 - 20
摘 要：<正> 上海冶炼厂硅材料生产开始于1970年,迄今已有十二年历史,现在我厂采用三氯氢硅还原法生产高纯硅,硅单晶的产量,在原设计的生产能力上增长了一倍;产品由单一的直拉单晶,发展了区熔硅单晶;产品的品种规格,按不同的型号,晶体直径和电阻率的参数进行生
李作恩
摘 要：<正> 上海冶炼厂硅材料生产开始于1970年,迄今已有十二年历史,现在我厂采用三氯氢硅还原法生产高纯硅,硅单晶的产量,在原设计的生产能力上增长了一倍;产品由单一的直拉单晶,发展了区熔硅单晶;产品的品种规格,按不同的型号,晶体直径和电阻率的参数进行生
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