柔性透明导电薄膜及其制备技术
来源期刊：材料导报2007年第3期
论文作者：董祥 张凤 陶杰
关键词：柔性透明导电薄膜; 柔性衬底; 制备方法; ITO; ZAO;
摘 要：在柔性衬底上制作的器件具有重量轻、柔软等优点,所以柔性透明导电薄膜成为当前的研究热点.柔性衬底存在不耐高温的缺点,从而限制了柔性透明导电薄膜的性能.总结了近年来对柔性衬底材料处理的方法,并介绍了柔性透明导电ITO薄膜和ZAO薄膜,分析了它们的研究现状,同时讨论了柔性薄膜的制备方法,最后对柔性透明TCO领域未来的研究和应用工作进行了展望.
董祥1，张凤1，陶杰1
(1.南京航空航天大学材料科学与技术学院,南京,210016)
摘要:在柔性衬底上制作的器件具有重量轻、柔软等优点,所以柔性透明导电薄膜成为当前的研究热点.柔性衬底存在不耐高温的缺点,从而限制了柔性透明导电薄膜的性能.总结了近年来对柔性衬底材料处理的方法,并介绍了柔性透明导电ITO薄膜和ZAO薄膜,分析了它们的研究现状,同时讨论了柔性薄膜的制备方法,最后对柔性透明TCO领域未来的研究和应用工作进行了展望.
关键词:柔性透明导电薄膜; 柔性衬底; 制备方法; ITO; ZAO;
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