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TiO2/Ag/TiO2纳米多层膜的研究

来源期刊:机械工程材料2004年第2期

论文作者:茅及放 蔡珣 李景明

关键词:透明电极; 纳米多层膜; 光学性能; 导电性能;

摘    要:设计和制备了用于平面显示器透明电极的纳米多层薄膜TiO2/Ag/TiO2,它的明视透光率Tlum约为89.3%,在2 500nm波长处的反射率R2 500>95%,方块电阻为3.0Ω/cm2,在550nm波长处的电气性能评价指标FTC=137×10-3Ω-1.发现顶层介质折射率的变化将会引起膜系透射峰的水平移动,而底层介质折射率的变化将仅仅影响膜系透射峰的高低.

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TiO2/Ag/TiO2纳米多层膜的研究

茅及放1,蔡珣1,李景明1

(1.上海交通大学教育部高温材料及高温测试重点实验室,上海,200030)

摘要:设计和制备了用于平面显示器透明电极的纳米多层薄膜TiO2/Ag/TiO2,它的明视透光率Tlum约为89.3%,在2 500nm波长处的反射率R2 500>95%,方块电阻为3.0Ω/cm2,在550nm波长处的电气性能评价指标FTC=137×10-3Ω-1.发现顶层介质折射率的变化将会引起膜系透射峰的水平移动,而底层介质折射率的变化将仅仅影响膜系透射峰的高低.

关键词:透明电极; 纳米多层膜; 光学性能; 导电性能;

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