钢渗铬层上金刚石薄膜的表面、界面结构及附着性
来源期刊：理化检验物理分册2007年第5期
论文作者：刘宏伟 罗承萍 邱万奇 黄元盛 陈灵
关键词：化学气相沉积; 金刚石膜; 渗铬钢; 界面; 附着力;
摘 要：在钢渗铬层表面用化学气相沉积(CVD))法制备了金刚石薄膜.使用扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)和压痕法研究了金刚石膜的表面、界面结构及附着力.用拉曼光谱分析了金刚石膜的纯度及非金刚石碳相.甲烷含量超过0.6%(体积分数)后,金刚石膜为球形纳米晶,形核密度＞107cm-2.用甲烷含量为0.6%(体积分数)沉积的金刚石膜表面的残余压应力为1.22 Gpa,而膜背面的残余压应力更高,达2.61 Gpa.压痕显示在19.6 N载荷下膜发生开裂.TEM观察发现,膜/基界面为微观非平面,有利于提高金刚石膜的附着力.
刘宏伟1，罗承萍2，邱万奇2，黄元盛3，陈灵2
(1.广西大学,机械工程学院,南宁,530004;
2.华南理工大学,机械工程学院,广州,510640;
3.江门职业技术学院,材料技术系,江门,529090)
摘要:在钢渗铬层表面用化学气相沉积(CVD))法制备了金刚石薄膜.使用扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)和压痕法研究了金刚石膜的表面、界面结构及附着力.用拉曼光谱分析了金刚石膜的纯度及非金刚石碳相.甲烷含量超过0.6%(体积分数)后,金刚石膜为球形纳米晶,形核密度＞107cm-2.用甲烷含量为0.6%(体积分数)沉积的金刚石膜表面的残余压应力为1.22 Gpa,而膜背面的残余压应力更高,达2.61 Gpa.压痕显示在19.6 N载荷下膜发生开裂.TEM观察发现,膜/基界面为微观非平面,有利于提高金刚石膜的附着力.
关键词:化学气相沉积; 金刚石膜; 渗铬钢; 界面; 附着力;
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