两种测定难熔单晶晶面偏离角方法的对比
来源期刊：理化检验物理分册2016年第1期
论文作者：刘竞艳 李鹏 苗壮 田弋纬
文章页码：17 - 20
关键词：难熔单晶体;晶面;偏离角;
摘 要：单晶晶面偏离角的测定是单晶生长和加工过程中的重要环节,通过试验比较研究了两种测定难熔单晶晶面偏离角方法的优缺点。结果表明:在试样高速旋转同时对试样进行固定2θ角扫描的θ扫描方法,能够快速准确地测定出偏离角,测定效率高,完全可以满足现阶段单晶生产过程中对晶面偏离角测定的要求。而另一种方法是由(ω,φ)二维数据确定出晶面偏离角和晶面方位,但该方法测试时间过长,效率低下。
刘竞艳，李鹏，苗壮，田弋纬
西北有色金属研究院
摘 要：单晶晶面偏离角的测定是单晶生长和加工过程中的重要环节,通过试验比较研究了两种测定难熔单晶晶面偏离角方法的优缺点。结果表明:在试样高速旋转同时对试样进行固定2θ角扫描的θ扫描方法,能够快速准确地测定出偏离角,测定效率高,完全可以满足现阶段单晶生产过程中对晶面偏离角测定的要求。而另一种方法是由(ω,φ)二维数据确定出晶面偏离角和晶面方位,但该方法测试时间过长,效率低下。
关键词：难熔单晶体;晶面;偏离角;
