高选择性的In₂O₃基热线型氢气传感器

来源期刊：稀有金属材料与工程2016年第11期

论文作者：郭雪原 詹青燃 金贵新 李亚丰 陈翔宇 詹自力

文章页码：3010 - 3014

关键词：氧化铟;热线型气体传感器;选择性;氢气;

摘    要：采用反相微乳液法合成出纳米氧化铟（In₂O₃）,利用其制备出了热线型气体传感器。利用二甲基二乙氧基硅烷（DEMS）的化学气相沉积,在敏感元件表面形成了一层致密的二氧化硅（SiO₂）分子筛层,限制了除氢气（H₂）以外其它分子直径较大的还原性气体向气敏材料内层的扩散,提高了该传感器对H₂的选择性和响应。参考元件的补偿作用降低了环境湿度的影响,通过气敏机理模型讨论了其内在原因。该传感器具有对H₂较高的选择性和响应,优良的抗环境影响能力,以及较好的稳定性和较低的功耗。