化学气相沉积法制备高纯硼粉的技术进展

来源期刊：材料导报2021年第5期

论文作者：曾静 胡石林 吴全峰 齐鑫 周文辉

文章页码：5089 - 5094

关键词：高纯硼;硼烷;流化床;化学气相沉积;

摘    要：高纯硼是高技术和电子信息的重要材料,是军工和高科技不可缺少的一种重要的战略物资。本文阐述了氢和卤化硼、卤化硼及硼烷分别在金属基体表面、硼棒基体表面及采用流化床技术化学气相沉积制备高纯硼粉的几种不同制备方法,分析比较了各方法的优缺点,总结出以硼烷为原料,采用流化床技术可以制备产率高、纯度高的硼粉;探讨了副产物回收方法,并进一步提出将流化床和化学气相沉积技术相结合（FB-CVD）,生产高纯硼粉具有高效、经济的特点,并可实现产业化。