薄膜导热系数的测量方法及技术
来源期刊：功能材料2010年第5期
论文作者：王伟伟 张敏 李凌智 柳清菊
文章页码：870 - 1750
关键词：薄膜;导热系数;测量;
摘 要：随着微型机电系统及集成电路的发展,器件中大量使用了微米、纳米量级厚度的薄膜,对其导热系数测量的研究有助于器件的设计和热优化工作。综述了当前几种测量薄膜导热系数的主要方法及技术,分析了各自的优点及不足,并对其以后的发展趋势做了简要分析。
王伟伟，张敏，李凌智，柳清菊
云南大学云南省高校纳米材料与技术重点实验室
摘 要：随着微型机电系统及集成电路的发展,器件中大量使用了微米、纳米量级厚度的薄膜,对其导热系数测量的研究有助于器件的设计和热优化工作。综述了当前几种测量薄膜导热系数的主要方法及技术,分析了各自的优点及不足,并对其以后的发展趋势做了简要分析。
关键词：薄膜;导热系数;测量;
