300 mm 硅单晶的缩颈生长及应力分析
来源期刊:稀有金属2001年第4期
论文作者:方锋 张果虎 王敬 周旗钢 常青 屠海令 程景柏
关键词:300 mm 硅单晶 缩颈 脆性断裂 抗拉强度;
摘 要:对不同直径颈部晶体进行了拉伸实验及断口形貌观察,颈部晶体的断裂属于脆性断裂,增大晶体颈部直径可以增大其承受拉力,从而可以制得更大重量的单晶.缩颈生长工艺条件会对颈部晶体的抗拉强度产生影响.讨论了颈部晶体的断裂机制.
摘要:对不同直径颈部晶体进行了拉伸实验及断口形貌观察,颈部晶体的断裂属于脆性断裂,增大晶体颈部直径可以增大其承受拉力,从而可以制得更大重量的单晶.缩颈生长工艺条件会对颈部晶体的抗拉强度产生影响.讨论了颈部晶体的断裂机制.
关键词:300 mm 硅单晶 缩颈 脆性断裂 抗拉强度;
Abstract:
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