金刚石薄膜抗激光破坏研究
来源期刊:新型炭材料2007年第1期
论文作者:朱嘉琦 高巍 韩杰才
关键词:金刚石薄膜; 激光损伤阈值; 激光损伤机理;
摘 要:介绍了金刚石优异的光学和力学特性,对金刚石薄膜在从紫外到红外波段以及不同脉宽激光参数下的激光损伤行为和损伤阈值进行了评述.分析了不同激光工作参数对金刚石薄膜的激光损伤机理,认为石墨化导致晶格失稳是金刚石薄膜激光损伤的主要原因.金刚石薄膜石墨化有两种方式:垂直表面向体层方向石墨化和平行表面按分层的方式逐层石墨化.
朱嘉琦1,高巍1,韩杰才1
(1.哈尔滨工业大学,复合材料与结构研究所,黑龙江,哈尔滨,150080)
摘要:介绍了金刚石优异的光学和力学特性,对金刚石薄膜在从紫外到红外波段以及不同脉宽激光参数下的激光损伤行为和损伤阈值进行了评述.分析了不同激光工作参数对金刚石薄膜的激光损伤机理,认为石墨化导致晶格失稳是金刚石薄膜激光损伤的主要原因.金刚石薄膜石墨化有两种方式:垂直表面向体层方向石墨化和平行表面按分层的方式逐层石墨化.
关键词:金刚石薄膜; 激光损伤阈值; 激光损伤机理;
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