磁控溅射HA(+YSZ)/Ti6Al4V复合涂层的微观形貌和生长方式
来源期刊：材料导报2006年增刊第1期
论文作者：赵玉涛 罗平辉 林东洋 施秋萍 戴起勋
关键词：复合涂层; 磁控溅射; 微观形貌; 生长方式;
摘 要：采用磁控溅射方法在钛合金(Ti6A14V)基体上制备了HA(+YSZ)复合涂层.利用X射线衍射仪(XRD)分析涂层的物相组成,扫描电镜(SEM)观察涂层的表面形貌,原子力显微镜(AFM)分析涂层的生长状况,划痕法测定涂层与基体的附着力.结果表明,用磁控溅射法可在Ti6Al4V基体上制备HA(+YSZ)复合涂层,涂层组成与靶材基本相似,涂层呈多孔状,划痕法测量涂层的附着力约为80N,涂层的生长模式为层状生长加岛状生长.
赵玉涛1，罗平辉1，林东洋1，施秋萍1，戴起勋1
(1.江苏大学材料科学与工程学院,镇江,212013)
摘要:采用磁控溅射方法在钛合金(Ti6A14V)基体上制备了HA(+YSZ)复合涂层.利用X射线衍射仪(XRD)分析涂层的物相组成,扫描电镜(SEM)观察涂层的表面形貌,原子力显微镜(AFM)分析涂层的生长状况,划痕法测定涂层与基体的附着力.结果表明,用磁控溅射法可在Ti6Al4V基体上制备HA(+YSZ)复合涂层,涂层组成与靶材基本相似,涂层呈多孔状,划痕法测量涂层的附着力约为80N,涂层的生长模式为层状生长加岛状生长.
关键词:复合涂层; 磁控溅射; 微观形貌; 生长方式;
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