陶瓷衬底薄膜太阳能电池的制备

张立明¹，许颖²，王文静²，张厚兴¹，黄勇¹，李海峰³，万之坚¹

(1.清华大学材料科学与工程系,北京,100084;
2.北京市太阳能研究所,北京,100083;
3.清华大学深圳研究生院,深圳,518057)

摘要:详细分析了陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池在制备过程中由于衬底的引入而导致一系列问题,比如衬底杂质含量过高、热膨胀系数等热力学参数和硅不匹配、沉积过程中杂质扩散以及晶体学参数不匹配导致沉积的硅薄膜晶粒不能长大等.针对衬底可能导致的不利因素给出了解决办法,同时进一步用实验验证了工艺的可行性.

关键词:陶瓷衬底; 制备技术; 太阳能电池;

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