微弧氧化法制备BaTiO3薄膜的结构特性
来源期刊：材料科学与工艺2008年第1期
论文作者：李文芳 韩冰
关键词：微弧氧化; 铁电薄膜; BaTiO3; 结构; 表面形貌;
摘 要：利用微弧氧化技术在钛衬底上制备了钛酸钡铁电薄膜.利用X射线(XRD)、扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)等手段研究了电流密度和电解液浓度对微弧氧化薄膜的化学成分、相组成、结构和表面形貌的影响.结果表明,随着电流密度和电解液浓度的增加,BaTiO3的形成能力增强,薄膜的致密度下降,表面粗糙度增加;当Ba(OH)2浓度为0.2 mol/l,电流密度为5 A/cm2,微弧氧化反应18 min后,可获得具有较高简单四方结构和底心正交结构BaTiO3含量的薄膜,且薄膜与衬底具有良好的结合性能.
李文芳1，韩冰1
(1.华南理工大学,机械工程学院,广东,广州,510640)
摘要:利用微弧氧化技术在钛衬底上制备了钛酸钡铁电薄膜.利用X射线(XRD)、扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)等手段研究了电流密度和电解液浓度对微弧氧化薄膜的化学成分、相组成、结构和表面形貌的影响.结果表明,随着电流密度和电解液浓度的增加,BaTiO3的形成能力增强,薄膜的致密度下降,表面粗糙度增加;当Ba(OH)2浓度为0.2 mol/l,电流密度为5 A/cm2,微弧氧化反应18 min后,可获得具有较高简单四方结构和底心正交结构BaTiO3含量的薄膜,且薄膜与衬底具有良好的结合性能.
关键词:微弧氧化; 铁电薄膜; BaTiO3; 结构; 表面形貌;
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