简介概要

X光单级衍射光栅的研究进展

来源期刊：材料导报2013年第S2期

论文作者：黄成龙张继成易勇曹磊峰王红斌

文章页码：164 - 345

关键词：X光单级衍射光栅;黑白透射光栅;电子束光刻;X射线光刻;

摘要：介绍了单级衍射光栅的应用背景及其基本理论,分析了单级衍射光栅与传统黑白透射光栅的不同之处。阐述了单级衍射光栅的制作技术,分析了以电子束光刻、X射线光刻和微电镀技术为主的工艺路线的优缺点。综述了X光单级衍射光栅的发展历程以及存在的问题,并指出了其未来的研究方向。

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黄成龙^1,2，张继成¹，易勇²，曹磊峰¹，王红斌¹

1. 中国工程物理研究院激光聚变研究中心2. 西南科技大学材料科学与工程学院

关键词：X光单级衍射光栅;黑白透射光栅;电子束光刻;X射线光刻;