多层膜晶界和膜界间竞比变形及其对硬度测量的影响
来源期刊：金属学报2007年第6期
论文作者：刘明霞 徐可为 黄友兰 张建民 余花娃 黄平 马飞
关键词：多层膜; 硬度; 压入深度; 调制波长; 晶界;
摘 要：使用磁控溅射法制备了不同调制波长的Ni/Al多层膜,利用X射线衍射(XRD)和高分辨电子显微术(HRTEM)对薄膜进行了微结构表征,采用连续刚度法(CSM)研究了不同压入深度下多层膜的硬度.结果表明,随调制波长减小,薄膜呈纳米晶结构特征且存在超硬效应.调制波长L大于30nm时,纳米压入硬度随压入深度的增加而升高;L小于30nm时,最大压入深度的硬度测量值反而最小.同时发现压入深度较小时硬度相对大小对调制波长不敏感.结合微结构表征,从晶界和膜界的竞比变形角度进行了分析讨论.
刘明霞1，徐可为1，黄友兰1，张建民2，余花娃2，黄平1，马飞1
(1.西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安,710049;
2.陕西师范大学物理学与信息技术学院,西安,710062)
摘要:使用磁控溅射法制备了不同调制波长的Ni/Al多层膜,利用X射线衍射(XRD)和高分辨电子显微术(HRTEM)对薄膜进行了微结构表征,采用连续刚度法(CSM)研究了不同压入深度下多层膜的硬度.结果表明,随调制波长减小,薄膜呈纳米晶结构特征且存在超硬效应.调制波长L大于30nm时,纳米压入硬度随压入深度的增加而升高;L小于30nm时,最大压入深度的硬度测量值反而最小.同时发现压入深度较小时硬度相对大小对调制波长不敏感.结合微结构表征,从晶界和膜界的竞比变形角度进行了分析讨论.
关键词:多层膜; 硬度; 压入深度; 调制波长; 晶界;
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