预处理工艺对硬质合金与金刚石膜间粘结力的影响
来源期刊：材料保护2002年第10期
论文作者：朱建勇 柴欣 梅炳初 董学斌 李力
关键词：金刚石薄膜; 粘结力; 硬质合金YG8; 微波等离子体; 洛氏硬度压痕;
摘 要：在两种经不同预处理的硬质合金YG8基底上,采用微波等离子体化学气相沉积法,在微波功率2 kW,压强4.0 kPa和6.5 kPa,CH-4和H-2流量分别为1.6 cm/s和100.0 cm/s的条件下生长金刚石薄膜.利用X射线衍射检测了金刚石薄膜是否存在,用拉曼光谱分析了薄膜的质量,用金相显微镜观察了薄膜的洛氏硬度压痕,标定并比较了不同预处理工艺膜与基底的结合力.实验结果表明,不同的预处理方法对于粘结力的影响不大,最主要的因素是钴含量的多少.
朱建勇1，柴欣1，梅炳初1，董学斌1，李力1
(1.武汉理工大学复合材料新技术研究国家重点实验室,湖北,武汉,430070)
摘要:在两种经不同预处理的硬质合金YG8基底上,采用微波等离子体化学气相沉积法,在微波功率2 kW,压强4.0 kPa和6.5 kPa,CH-4和H-2流量分别为1.6 cm/s和100.0 cm/s的条件下生长金刚石薄膜.利用X射线衍射检测了金刚石薄膜是否存在,用拉曼光谱分析了薄膜的质量,用金相显微镜观察了薄膜的洛氏硬度压痕,标定并比较了不同预处理工艺膜与基底的结合力.实验结果表明,不同的预处理方法对于粘结力的影响不大,最主要的因素是钴含量的多少.
关键词:金刚石薄膜; 粘结力; 硬质合金YG8; 微波等离子体; 洛氏硬度压痕;
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