空心阴极远区等离子体放电结构的优化设计

来源期刊：机械设计与制造2013年第11期

论文作者：温贻芳 芮延年 陈新

文章页码：248 - 250

关键词：空心阴极放电;空心阴极喷嘴;优化设计;

摘    要：射频空心阴极远区等离子体放电具有离子浓度高、易于实现大面积处理的优点,正受到越来越多的关注。空心阴极等离子体流的特性与空心阴极的喷嘴结构有很大的关系。如何准确、便捷设计空心阴极喷嘴放电结构,是空心阴极远区等离子体表面处理的关键问题。构建了空心阴极等离子体放电自洽模型,推导了空心阴极等离子体放电电流与空心阴极喷嘴结构之间的关系,应用放电粒子模拟仿真软件,对空心阴极放电结构进行优化设计,实现了快速、准确设计,达到高效等离子体表面改性的目的。