掺铝ZnO纳米粉的制备与气敏特性研究
来源期刊：金属功能材料2003年第4期
论文作者：张玲 周莹 安康 宋鹏 秦宏伟 韩涛 薛天锋 胡季帆
关键词：纳米ZnO; 气敏;
摘 要：用可溶性无机盐法(ISG法)制备掺杂Al3+的ZnO纳米气敏材料,用D/Max0-rB型X-射线粉末衍射仪研究纳米晶的结构.结果表明制备的掺铝ZnO纳米材料属于六方晶系,纤锌矿结构.用Scherrer公式计算得ZnO和掺铝ZnO的平均晶粒分别为40nm和35nm.用掺铝的ZnO纳米粉做成气敏元件,测试了不同铝含量的纳米材料在不同浓度的乙醇气体和氢气下的敏感特性.结果表明随着气体浓度的增加,灵敏度逐渐上升;随着Al含量的减少,材料气敏灵敏性逐渐增强.当铝含量为Al/ZnO＝0.5%(mol)时,对0.2%的乙醇气体的灵敏度最大可达到127.并讨论了纳米材料对敏感气体的物理吸附和化学吸附以及纳米氧化物的气敏机理.
张玲1，周莹1，安康1，宋鹏1，秦宏伟1，韩涛1，薛天锋1，胡季帆1
(1.山东大学物理与微电子学院,济南,250100)
摘要:用可溶性无机盐法(ISG法)制备掺杂Al3+的ZnO纳米气敏材料,用D/Max0-rB型X-射线粉末衍射仪研究纳米晶的结构.结果表明制备的掺铝ZnO纳米材料属于六方晶系,纤锌矿结构.用Scherrer公式计算得ZnO和掺铝ZnO的平均晶粒分别为40nm和35nm.用掺铝的ZnO纳米粉做成气敏元件,测试了不同铝含量的纳米材料在不同浓度的乙醇气体和氢气下的敏感特性.结果表明随着气体浓度的增加,灵敏度逐渐上升;随着Al含量的减少,材料气敏灵敏性逐渐增强.当铝含量为Al/ZnO＝0.5%(mol)时,对0.2%的乙醇气体的灵敏度最大可达到127.并讨论了纳米材料对敏感气体的物理吸附和化学吸附以及纳米氧化物的气敏机理.
关键词:纳米ZnO; 气敏;
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