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碳纳米管异质结构的ECR-CVD法制备

来源期刊:无机材料学报2006年第5期

论文作者:梁吉 王志 巴德纯 于春宏

关键词:ECR-CVD; 异质结构; 碳纳米管; 硼掺杂;

摘    要:使用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积方法(ECR-CVD),以Fe3O4纳米粒子为催化剂,多孔硅为基底,采用CH4/H2和CH4/B2H6/H2两种气源在连续的CVD过程中大量合成了一种新型的纳米管异质结构.扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)观察表明:合成的异质结构一端是类竹节状的掺硼碳纳米管,另一端是光滑中空的纯碳纳米管.异质结构采用底端生长模式,先行生长的掺硼纳米管处于纳米管结构的顶端.

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碳纳米管异质结构的ECR-CVD法制备

梁吉1,王志1,巴德纯3,于春宏2

(1.清华大学机械工程系,北京,100084;
2.沈阳航空工业学院,沈阳,110034;
3.东北大学机械工程与自动化学院,沈阳,110004)

摘要:使用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积方法(ECR-CVD),以Fe3O4纳米粒子为催化剂,多孔硅为基底,采用CH4/H2和CH4/B2H6/H2两种气源在连续的CVD过程中大量合成了一种新型的纳米管异质结构.扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)观察表明:合成的异质结构一端是类竹节状的掺硼碳纳米管,另一端是光滑中空的纯碳纳米管.异质结构采用底端生长模式,先行生长的掺硼纳米管处于纳米管结构的顶端.

关键词:ECR-CVD; 异质结构; 碳纳米管; 硼掺杂;

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