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陶瓷氧化铝－金刚石薄膜复合材料的研究

来源期刊：功能材料与器件学报2001年第3期

论文作者：王鸿夏义本居建华莫要武黄晓琴王瑜

关键词：金刚石薄膜; 热丝CVD; 拉曼光谱; X射线衍射;

摘要：以有机高分子化合物酒精和氢气为反应气体，用热丝CVD法在Al2O3陶瓷基片上沉积出金刚石薄膜,用拉曼光谱，X射线衍射等方法进行了表征。探索了碳源浓度、热丝温度、基片温度和预处理工艺对金刚石薄膜结构和性能的影响，并且得到了最佳的工艺条件。探讨了金刚石在Al2O3衬底上的成核和生长机理。

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王鸿¹，夏义本¹，居建华¹，莫要武²，黄晓琴¹，王瑜¹

(1.上海大学材料科学与工程学院,;
2.College of Materials Science ＆ Engineering, Shanghai University,)

摘要:以有机高分子化合物酒精和氢气为反应气体，用热丝CVD法在Al2O3陶瓷基片上沉积出金刚石薄膜,用拉曼光谱，X射线衍射等方法进行了表征。探索了碳源浓度、热丝温度、基片温度和预处理工艺对金刚石薄膜结构和性能的影响，并且得到了最佳的工艺条件。探讨了金刚石在Al2O3衬底上的成核和生长机理。

关键词:金刚石薄膜; 热丝CVD; 拉曼光谱; X射线衍射;

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