简介概要

粉末冶金法多弧离子镀(PVD)用钛靶材的制备

来源期刊：金属学报2002年增刊第1期

论文作者：赵峰梁振锋李华陈平苏东艺

关键词：磁控溅射; 钛靶; 粉末冶金;

摘要：概要介绍了用粉末冶金工艺制备磁控溅射沉积TiN膜用钛靶的方法,探讨了其技术、经济可行性.结果表明,该方法制备钛靶是可行的,并可推广应用于其它钛复合靶、钛合金、钛化合物靶制备.

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赵峰¹，梁振锋¹，李华¹，陈平¹，苏东艺²

(1.广州有色金属研究院国家钛及稀有金属粉末冶金工程中心,广州,510651;
2.广州金泰表面处理技术工程公司,广州,510651)

摘要:概要介绍了用粉末冶金工艺制备磁控溅射沉积TiN膜用钛靶的方法,探讨了其技术、经济可行性.结果表明,该方法制备钛靶是可行的,并可推广应用于其它钛复合靶、钛合金、钛化合物靶制备.

关键词:磁控溅射; 钛靶; 粉末冶金;

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