磁控溅射法制备 YBa2Cu3O7-x 双面超导薄膜
来源期刊：稀有金属2000年第6期
论文作者：张朝兴 林晨光 冯稷 华志强 王小平 刘援 王霈文
关键词：磁控溅射; 双面超导薄膜; 性能; 微结构;
摘 要：采用大直径中空柱状阴极磁控溅射装置和筒形加热器制备了高质量 YBa2Cu3O7-x 双面超导薄膜.使用衬底为(001) LaAlO3 和 (001) YSZ.双面超导薄膜零电阻温度 TC=89～91K,临界电流密度 JC≥106A/cm2(77K,零场下),微波表面电阻 RS＜1 mΩ(77K,10GHz).对不同氧氩比下制备的双面膜进行了性能的比较.当 O2:Ar=1:2.5,衬底温度在 800℃时,制备出了高质量的双面超导薄膜.同时对双面超导薄膜进行了微结构分析.用制备的 25mm×20mm 双面膜研制成功中频滤波器,中心频率为1.06 GHz 时,插损为 0.67 dB.
张朝兴1，林晨光2，冯稷3，华志强2，王小平2，刘援2，王霈文2
(1.信息产业部第十六研究所,合肥,230043;
2.北京有色金属研究总院,北京,100088;
3.香港城市大学物理及材料科学系,香港)
摘要:采用大直径中空柱状阴极磁控溅射装置和筒形加热器制备了高质量 YBa2Cu3O7-x 双面超导薄膜.使用衬底为(001) LaAlO3 和 (001) YSZ.双面超导薄膜零电阻温度 TC=89～91K,临界电流密度 JC≥106A/cm2(77K,零场下),微波表面电阻 RS＜1 mΩ(77K,10GHz).对不同氧氩比下制备的双面膜进行了性能的比较.当 O2:Ar=1:2.5,衬底温度在 800℃时,制备出了高质量的双面超导薄膜.同时对双面超导薄膜进行了微结构分析.用制备的 25mm×20mm 双面膜研制成功中频滤波器,中心频率为1.06 GHz 时,插损为 0.67 dB.
关键词:磁控溅射; 双面超导薄膜; 性能; 微结构;
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